第578章 燒錢

 第578章 燒錢

 中關村科技大樓，五樓頂層。

 這裡不對外開放，作為由陳春仙主持的、華夏硅谷公司的自主研發項目——光刻機的設計研發基地。

 活了兩輩子，時至今日，在此地，李建昆終於在現實中接觸到光刻機。

 對於光刻機的瞭解，不再停留在鍵盤俠的層次。

 位於廊道盡頭的一間實驗室，有一扇碩大的對開式鐵皮門，實驗室裡沒有任何窗戶，鐵皮門關起來的話，處於全封閉狀態。

 在房間右側靠牆的位置，靜靜“躺”著一臺機械、電子和光學等，多種科學凝聚而成的智慧結晶。

 它的體積比李建昆想象中要小一些，精密程度也不如記憶中的某些圖片上覆雜，大概率是由於功能還不夠強大的緣故。

 這是一臺由清華9003所自主研發的，第二代接近式光刻機。

 整體像只櫃子，矩形規格，大小等於兩隻對開門的衣櫃拼湊在一起。

 李建昆繞著圈圈，饒有興致打量時，陳春仙像是給他做介紹，又像是在做某種鋪墊，朗聲道：

 “二代光刻機和一代，最大的區別在於，一代使用的是436nm的g-line光源，二代使用則是365nm的i-line光源。”

 他居然以為李建昆能聽懂……

 可見早前憑藉鍵盤俠技術，李建昆在他心中豎立起何等專業的形象。

 “不過一代和二代本質上其實差不多，都屬於接觸接近式光刻機，各自缺點明顯，一代光刻機由於掩膜和光刻膠直接接觸，易受汙染；二代改良過後，卻又出現新的問題，受氣墊影響，成像精度還是不如人意。”

 李建昆裝模作樣問：“所以呢？”

 “要顛覆。”

 陳春仙指了指清華圓的方向，“我跟那邊詳細討論過，也通過國外行業能蒐集到的皮毛資料，做過深入研究。下一代光刻機，需要摒棄掉‘接觸接近’的方式，技術出路一定在光學投影這一塊。”

 對嘍！

 李建昆眼神大亮，作為資深鍵盤俠，你跟他說具體怎麼造一臺光刻機，其中涉及哪些細微技術，他是真不懂。但大的技術特點，他還是有所瞭解的。

 第三代光刻機的稱謂，正是叫作“掃描投影式光刻機”。

 “有研發思路嗎？”

 沒有我給你提供點……李建昆心想。打算先聽聽老陳怎麼說。

 陳春仙進入科研狀態，像是在與一個同層次的科學家，進行深刻探討，很認真地說道：“拋棄接觸接近的方式，那麼只能採取隔空曝光的形式，首先要利用光學透鏡聚集衍生光，提高成像質量，其次使用掃描技術實現曝光。”